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  碳/碳復合坩堝由高強度碳纖維和增強碳基體組成的復合材料制成。使用的碳纖維具有低堿金屬雜質(zhì)含量、高強度和高彈性模量。它采用整體結構和近凈成型的設計理念，通過制坯、致密化、凈化、高溫熱處理和表面涂層處理工藝制造而成。用于制備單晶硅熱場的零件必須經(jīng)過提純，保證金屬雜質(zhì)含量降低到100ppm以下，滿足制備熱場零件的要求。生產(chǎn)過程如圖3所示。碳/碳坩堝的生產(chǎn)工藝及其自身特點如下:

(1)碳/碳復合材料坩堝采用整體設計理念，由碳纖維增強碳基體制成，強度高，結構簡單，重量輕，操作方便；

(2)碳/碳復合材料制成的坩堝熱膨脹系數(shù)小，抗熱震性好，在快速加熱和快速冷卻的環(huán)境下使用不開裂，使用壽命長。  

(3)生產(chǎn)流程短，生產(chǎn)和使用能耗大幅降低，主要工序在密閉設備中進行，無有害氣體排放，對環(huán)境無不利影響；

(4)采用成熟的3D編程技術，坩堝結構可設計性好，尺寸精度高，各種尺寸的坩堝質(zhì)量穩(wěn)定；